Арзиши мақсадноки намии нисбӣ дар як ҳуҷраи тозаи нимноқил (FAB).

Қимати мақсадноки намии нисбӣ дар як ҳуҷраи тозаи нимноқил (FAB) тақрибан аз 30 то 50% аст, ки имкон медиҳад, ки хатогии танги ±1%, масалан дар минтақаи литография ё ҳатто камтар дар коркарди ултрабунафш (DUV) минтақа - дар ҳоле ки дар ҷои дигар он метавонад то ±5% ором карда шавад.
Азбаски намии нисбӣ як қатор омилҳо дорад, ки метавонад кори умумии ҳуҷраҳои тозаро коҳиш диҳад, аз ҷумла:
1. Афзоиши бактерияҳо;
2. Диапазони бароҳатии ҳарорати хонагӣ барои кормандон;
3. Заряди электростатикї пайдо мешавад;
4. Коррозияи металл;
5. Конденсатсияи буғи об;
6. Деградатсияи литография;
7. Азхудкунии об.

Бактерияҳо ва дигар ифлоскунандаҳои биологӣ (қолибҳо, вирусҳо, занбӯруғҳо, фулусҳо) метавонанд дар муҳитҳое инкишоф ёбанд, ки намии нисбӣ аз 60% зиёд аст. Баъзе ҷомеаҳои бактериявӣ метавонанд дар намии нисбии зиёда аз 30% афзоиш ёбанд. Ширкат боварӣ дорад, ки намӣ бояд дар доираи аз 40% то 60% назорат карда шавад, ки метавонад таъсири бактерияҳо ва сироятҳои роҳи нафасро кам кунад.

Рутубати нисбӣ дар ҳудуди 40% то 60% низ барои роҳати инсон як дараҷаи мӯътадил аст. Рутубати аз ҳад зиёди намӣ метавонад одамонро ғафс ҳис кунад, дар ҳоле ки намӣ аз 30% метавонад одамонро хушк, пӯсти кафида, нороҳатии роҳи нафас ва бадбахтии эмотсионалӣ эҳсос кунад.

Рутубати баланд воқеан ҷамъшавии зарядҳои электростатикиро дар сатҳи ҳуҷраи тоза коҳиш медиҳад - натиҷаи дилхоҳ. Рутубати паст барои ҷамъшавии заряд ва манбаи эҳтимолан зараровари разряди электростатикӣ беҳтарин аст. Вақте ки намии нисбӣ аз 50% зиёд мешавад, зарядҳои электростатикӣ зуд пароканда мешаванд, аммо вақте ки намии нисбӣ аз 30% камтар аст, онҳо метавонанд дар изолятор ё сатҳи заминнашуда муддати дароз нигоҳ дошта шаванд.

Намии нисбии байни 35% ва 40% метавонад ҳамчун як созиши қаноатбахш истифода шавад ва ҳуҷраҳои тозаи нимноқилҳо одатан барои маҳдуд кардани ҷамъшавии зарядҳои электростатикӣ назорати иловагиро истифода мебаранд.

Суръати бисьёр реак-цияхои химиявй, аз чумла процессхои зангзанй бо зиёд шудани намии нисбй зиёд мешавад. Ҳама сатҳҳое, ки ба ҳаво дар атрофи ҳуҷраи тоза дучор мешаванд, зуд мебошанд.