Цехи микроэлектроники дорои майдони нисбатан хурди ҳуҷраи тоза ва радиуси маҳдуди канали ҳавои бозгашт барои қабули схемаи ҳавоии дуюмдараҷаи системаи кондитсионер истифода мешавад. Ин схема низ маъмулан дар истифода бурда мешавадҳуҷраҳои тозадар дигар соҳаҳо, аз қабили дорусозӣ ва нигоҳубини тиббӣ. Азбаски ҳаҷми вентилятсия барои қонеъ кардани талаботи намӣ дар ҳарорати тозаи ҳуҷра одатан аз ҳаҷми вентилятсия барои расидан ба сатҳи тозагӣ хеле камтар аст, бинобар ин, фарқияти ҳарорати байни ҳавои таъминот ва ҳавои бозгашт хурд аст. Агар схемаи ҳавои бозгашти ибтидоӣ истифода шавад, фарқияти ҳарорат байни нуқтаи ҳолати ҳавои таъминкунанда ва нуқтаи шабнамии воҳиди кондитсионер калон аст, гармии дуюмдараҷа лозим аст, ки дар натиҷа ҷуброни гармии сард дар раванди коркарди ҳаво ва истеъмоли бештари энергия мегардад. . Агар схемаи ҳавои бозгашти дуюмдараҷа истифода шавад, ҳавои бозгашти дуввумро барои иваз кардани гармии дуюми схемаи ҳавои бозгашти ибтидоӣ истифода бурдан мумкин аст. Гарчанде ки танзими таносуби ҳавои бозгашти ибтидоӣ ва дуюмдараҷа нисбат ба танзими гармии дуввум каме камтар ҳассос аст, схемаи ҳавои бозгашти дуввум ба таври васеъ ҳамчун чораи сарфаи энергияи кондитсионер дар устохонаҳои тозаи хурд ва миёна эътироф шудааст. .
Цехи тозакунии микроэлектроникаи ISO класси 6-ро мисол мегирем, майдони цехи тозаи 1000 м2, баландии шифт 3 м. Параметрҳои тарҳрезии дохилӣ ҳарорат tn= (23±1) ℃, намии нисбӣ φn=50%±5%; Ҳаҷми интиқоли ҳавои лоиҳавӣ 171 000 м3/соат, тақрибан 57 соат-1 вақти мубодилаи ҳаво ва ҳаҷми ҳавои тоза 25 500 м3/соат (аз он ҷумла ҳаҷми коркарди ҳаво 21 000 м3/соат ва боқимонда) ҳаҷми ҳавои ихроҷи фишори мусбӣ). Сарбории гармии оқилона дар цехи тоза 258 кВт (258 Вт/м2), таносуби гармӣ/намии кондитсионер ε=35 000 кҶ/кг ва фарқияти ҳарорати ҳавои бозгашти ҳуҷра 4,5 ℃ аст. Дар ин вақт, ҳаҷми ҳавои бозгашти ибтидоӣ аз
Ин аст, ки дар айни замон шакли маъмултарин истифодашавандаи системаи кондитсионер ҳаво поксозӣ дар саноати microelectronics ҳуҷраи тоза, ин навъи система метавонад асосан ба се намуд тақсим мешавад: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (каттаи хушк) +FFU. Ҳар як афзалиятҳо ва нуқсонҳо ва ҷойҳои мувофиқ дорад, таъсири каммасраф асосан аз кори филтр ва вентилятор ва дигар таҷҳизот вобаста аст.
1) системаи AHU+FFU.
Ин намуди режими система дар саноати микроэлектроника ҳамчун "роҳи ҷудо кардани ҳаво ва марҳилаи тозакунӣ" истифода мешавад. Ду ҳолат вуҷуд дошта метавонад: яке ин аст, ки системаи кондитсионер танҳо бо ҳавои тоза кор мекунад ва ҳавои тозаи коркардшуда тамоми гармӣ ва намии ҳуҷраи тозаро ба дӯш мегирад ва ҳамчун ҳавои иловагӣ барои мувозинати ҳавои ихроҷшуда ва ихроҷи фишори мусбӣ амал мекунад. аз ҳуҷраи пок, ин система низ номида мешавад MAU+FFU системаи; Дигар ин аст, ки ҳаҷми ҳавои тоза танҳо барои қонеъ кардани эҳтиёҷоти сармо ва гармии ҳуҷраи тоза кофӣ нест ё аз сабаби коркарди ҳавои тоза аз ҳолати берунӣ то нуқтаи шабнам фарқияти энталпияи мушаххаси мошини зарурӣ хеле калон аст. , ва як кисми хавои дохили хона (ба хавои бозгашт баробар аст) ба агрегати коркарди кондиционер баргардонида, бо хавои тоза барои коркарди гармию намнок омехта карда мешавад ва баъд ба пленуми таъминоти хаво фиристода мешавад. Бо ҳавои бозгашти боқимондаи ҳуҷраи тоза омехта (ба ҳавои дуюмдараҷа баробар аст), он ба воҳиди FFU дохил мешавад ва сипас онро ба ҳуҷраи тоза мефиристад. Аз соли 1992 то соли 1994, муаллифи дуюми ин мақола бо як ширкати сингапурӣ ҳамкорӣ карда, зиёда аз 10 нафар аспирантҳоро барои иштирок дар тарҳрезии корхонаи муштараки ИМА ва Ҳонгконг SAE Electronics Factory роҳбарӣ кардааст, ки навъи охирини тозакунии ҳаво ва ҳаворо қабул кардааст. системаи вентилятсия. Лоиҳа дорои утоқи тозаи ISO дараҷаи 5 тақрибан 6000 м2 мебошад (1500 м2 аз он аз ҷониби Агентии атмосфераи Ҷопон қарордод шудааст). Ҳуҷраи кондитсионер дар паҳлӯи ҳуҷраи тоза дар баробари девори беруна ва танҳо дар назди долон ҷойгир карда шудааст. Ҳавои тоза, ҳавои хориҷшаванда ва қубурҳои ҳавои бозгашт кӯтоҳанд ва ҳамвор ҷойгир шудаанд.
2) Схемаи MAU+AHU+FFU.
Ин маҳлул маъмулан дар корхонаҳои микроэлектроника бо талаботи сершумори ҳарорат ва намӣ ва фарқияти калон дар сарбории гармӣ ва намӣ пайдо мешавад ва сатҳи тозагӣ низ баланд аст. Дар тобистон, ҳавои тоза то нуқтаи параметри муқарраршуда сард ва намнок карда мешавад. Одатан, коркарди ҳавои тоза ба нуқтаи чорроҳаи хати энталпияи изометрӣ ва хати намии нисбии 95%-и ҳуҷраи тоза бо ҳарорат ва намии намояндагӣ ё ҳуҷраи тоза бо ҳаҷми калонтарини ҳавои тоза мувофиқ аст. Ҳаҷми ҳавои MAU мувофиқи эҳтиёҷоти ҳар як ҳуҷраи тоза барои пур кардани ҳаво муайян карда мешавад ва ба AHU-и ҳар як ҳуҷраи тоза бо қубурҳо мувофиқи ҳаҷми ҳавои тозаи зарурӣ тақсим карда мешавад ва бо ҳавои бозгашти дохилӣ барои гармӣ омехта карда мешавад. ва коркарди намӣ. Ин агрегат тамоми сарбории гармию намӣ ва як қисми бори нави ревматизми ҳуҷраи тозаеро, ки ба он хизмат мерасонад, бар душ дорад. Ҳавое, ки ҳар як AHU коркард мекунад, ба пленуми ҳавои таъминкунандаи ҳар як ҳуҷраи тоза фиристода мешавад ва пас аз омехтаи дубора бо ҳавои бозгашти дохили хона тавассути агрегати FFU ба ҳуҷра фиристода мешавад.
Бартарии асосии маҳлули MAU+AHU+FFU дар он аст, ки ба ғайр аз таъмини тозагӣ ва фишори мусбӣ, он инчунин ҳарорати гуногун ва намии нисбӣ барои истеҳсоли ҳар як раванди ҳуҷраи тозаро таъмин мекунад. Аммо, аксар вақт аз сабаби шумораи AHU насбшуда, майдони ҳуҷраро ишғол мекунанд, ҳуҷраи тоза ҳавои тоза, ҳавои бозгашт, қубурҳои интиқоли ҳаво, фазои калонро ишғол мекунанд, тарҳрезӣ мушкилтар аст, нигоҳдорӣ ва идоракунӣ душвортар аст. ва мураккаб, бинобар ин, ҳеҷ гуна талаботи махсус то ҳадди имкон пешгирӣ аз истифода.
Вақти фиристодан: 26 март-2024