SOLUTION нимноқилҳои BSLtech
Рушди таҷрибаи шумо дар соҳаи саноати нимноқилҳо аксар вақт ҳуҷраҳои тоза ё шкафҳои ҷараёни ламинариро бо дараҷаи баланди ISO (ISO 5 ё баландтар) талаб мекунад. Оё шумо бо равандҳои ҳассос ба ултрабунафш сарукор доред? Ҳатто дар он сурат BSL утоқи дурустро таъмин мекунад. Ҳуҷраҳои тозакунӣ дорои деворҳои баландсифат ва равшанӣ бо филтри ултрабунафш мебошанд. Бо истифода аз маводи зидди статикӣ (ESD) ва панҷараҳои зидди статикӣ дар системаи филтр заряди статикӣ дар ҳаво безарар мегардад.
Вақте ки дегазизатсия лозим нест, BSL як ҳуҷраи тозаи маводҳои газро (PU) пешниҳод мекунад. Ин технология дар саноати аэрокосмикӣ сарчашма мегирад.
Равандҳои маъмулӣ дар саноати нимноқилҳо:
● Муҳофизати субстратҳо ва вафли кремний
● Тадқиқоти EUV
● Пайвасткунакҳои ниқоб
● Сарпӯши вакуумӣ, пошидани филми тунук
● Барномаҳои чопӣ
● Оптика
Равандҳои пешрафта ва пушти сар